最佳答案：Lan蚀刻机是美国的。泛林集团（Lam Research）是美国一家从事设计，制造，营销和服务用于制造集成电路的半导体加工设备的公司。产品主要用于前端晶片处理，涉及有源元件的半导体器件（晶体管，电容器
Lan蚀刻机是美国的。
泛林集团（Lam Research）是美国一家从事设计，制造，营销和服务用于制造集成电路的半导体加工设备的公司。产品主要用于前端晶片处理，涉及有源元件的半导体器件（晶体管，电容器）和布线（互连）。泛林集团为后端晶圆级封装和相关制造市场（如微机电系统）提供设备。集团1980年创建，总部位于美国加利福尼亚州硅谷。
泛林集团设计和构建半导体制造设备，包括薄膜沉积，等离子体蚀刻，光刻胶剥离和晶片清洗工艺。从蚀刻机市场份额来看，国外的三巨头为美国泛林半导体、应用材料以及日本的东京电子这三家顶尖的蚀刻机公司占据了94%的市场。其中又以美国的泛林半导体最强。近日，泛林集团，发布了专为其最智能化的刻蚀平台所设计的最新介电质刻蚀技术Vantex，这种技术能够控制了刻蚀的垂直角度，并能够实现更大的垂直深度。这样在芯片制造过程中，能够提高良率，降低成本，同时提升芯片密度。
